Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал: https://ea.donntu.edu.ua/jspui/handle/123456789/2168
Назва: Получение металлических пленов путем термолиза пентакарбонилгалогенидов ревния (I)
Інші назви: FABRICATION OF METAL FILMS BY THERMOLYSIS OF RHENIUM PENTACARBONYLHALOGENIDES
Автори: Шаповал, А.Н.
Бобухов, Д.В.
Штеменко, А.В.
Shapoval A.
Bobuhov D.
Shtemenko A.
Дата публікації: 2008
Видавництво: Донецький національний технічний університет
Бібліографічний опис: Наукові праці Донецького національного технічного університету. Серія: "Хімія і хімічна технологія". Випуск 134 - Донецьк: ДонНТУ, 2008. - С. 9-14.
Серія/номер: Хімія та хімічні технології;17
Короткий огляд (реферат): Изучены способы нанесения рениевых покрытий. Рассмотрены особенности CVD процессов для различных классов соединений. С помощью масс-спектрального анализа изучены особенности термического разложения соединения Re(CO)5Вr. На основании литературных данных и результатов проведенного анализа выбраны оптимальные условия нанесения пленки металлического рения. Предложена установка для нанесения рения методом CVD. Осаждение металлического рения проводилось из газовой фазы на керамические, металлические и стеклянные подложки. Проведен анализ полученных образцов.
Опис: The methods of disposition rhenium coatings were studied. Features CVD processes for various classes of compounds were observed. Characteristics of thermal decomposition of compound Re(CO)5Вr were investigated by means of mass-spectrometric analysis. Optimum conditions for deposition film from metal rhenium were offered on the basis of literary data and performed results. Plant for deposition of rhenium by method CVD was offered. Deposition of metal rhenium coatings from gas phase was carried out on ceramic, metal and glass substrates. The analysis of the received samples was carried on.
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): http://ea.donntu.edu.ua/handle/123456789/2168
Розташовується у зібраннях:Випуск 134



Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.