1. Електронний архів ДонНТУ м.Покровськ
  2. Наукові видання ДонНТУ
  3. Наукові періодичні видання
  4. Серія: Хімія та хімічні технології
  5. Випуск 134
Please use this identifier to cite or link to this item: https://ea.donntu.edu.ua/jspui/handle/123456789/2168
Title: Получение металлических пленов путем термолиза пентакарбонилгалогенидов ревния (I)
Other Titles: FABRICATION OF METAL FILMS BY THERMOLYSIS OF RHENIUM PENTACARBONYLHALOGENIDES
Authors: Шаповал, А.Н.
Бобухов, Д.В.
Штеменко, А.В.
Shapoval A.
Bobuhov D.
Shtemenko A.
Issue Date: 2008
Publisher: Донецький національний технічний університет
Citation: Наукові праці Донецького національного технічного університету. Серія: "Хімія і хімічна технологія". Випуск 134 - Донецьк: ДонНТУ, 2008. - С. 9-14.
Series/Report no.: Хімія та хімічні технології;17
Abstract: Изучены способы нанесения рениевых покрытий. Рассмотрены особенности CVD процессов для различных классов соединений. С помощью масс-спектрального анализа изучены особенности термического разложения соединения Re(CO)5Вr. На основании литературных данных и результатов проведенного анализа выбраны оптимальные условия нанесения пленки металлического рения. Предложена установка для нанесения рения методом CVD. Осаждение металлического рения проводилось из газовой фазы на керамические, металлические и стеклянные подложки. Проведен анализ полученных образцов.
Description: The methods of disposition rhenium coatings were studied. Features CVD processes for various classes of compounds were observed. Characteristics of thermal decomposition of compound Re(CO)5Вr were investigated by means of mass-spectrometric analysis. Optimum conditions for deposition film from metal rhenium were offered on the basis of literary data and performed results. Plant for deposition of rhenium by method CVD was offered. Deposition of metal rhenium coatings from gas phase was carried out on ceramic, metal and glass substrates. The analysis of the received samples was carried on.
URI: http://ea.donntu.edu.ua/handle/123456789/2168
Appears in Collections:Випуск 134

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Получение металлических пленов путем термолиза пентакарбонилгалогенидов ревния (I).pdf250,02 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.