Донецький національний технічний університет
Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
https://ea.donntu.edu.ua/jspui/handle/123456789/28389Повний запис метаданих
| Поле DC | Значення | Мова |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Бортникова, В.О. | - |
| dc.contributor.author | Невлюдов, И.Ш. | - |
| dc.date.accessioned | 2017-06-12T21:00:06Z | - |
| dc.date.available | 2017-06-12T21:00:06Z | - |
| dc.date.issued | 2016 | - |
| dc.identifier.citation | «ТАК»: телекомунікації, автоматика, комп’ютерно-інтегровані технології: зб. доповідей Всеукр. наук.-практ. конф. молодих вчених, 29-30 листопада 2016 р. / ДВНЗ «ДонНТУ; відп. ред. Г.В. Ступак. – Покровськ: ДВНЗ «ДонНТУ», 2016. – 288 с. | uk_UK |
| dc.identifier.isbn | 978-966-377-208-0 | - |
| dc.identifier.uri | http://ea.donntu.edu.ua/jspui/handle/123456789/28389 | - |
| dc.description.abstract | The process of manufacturing the MEMS accelerometer as a design object is analyzed. The features input and output parameters of the technological process of manufacturing the MEMS accelerometer are identified. | uk_UK |
| dc.language.iso | ru | uk_UK |
| dc.publisher | ДонНТУ | uk_UK |
| dc.subject | МЭМС | uk_UK |
| dc.subject | технологические процессы | uk_UK |
| dc.subject | акселерометр | uk_UK |
| dc.subject | MEMS | uk_UK |
| dc.subject | accelerometer | uk_UK |
| dc.subject | technological processes | uk_UK |
| dc.title | ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА КАК ОБЪЕКТ ПРОЕКТИРОВАНИЯ | uk_UK |
| dc.type | Article | uk_UK |
| Розташовується у зібраннях: | Матеріали ІІ науково-практичного форума 2016 р. | |
Файли цього матеріалу:
| Файл | Опис | Розмір | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 212-214.pdf | Технологический процесс изготовления микромеханического акселерометра как объект проектирования | 841,94 kB | Adobe PDF | Переглянути/Відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.