Donetsk National Technical University
Please use this identifier to cite or link to this item:
https://ea.donntu.edu.ua/jspui/handle/123456789/28389| Title: | ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА КАК ОБЪЕКТ ПРОЕКТИРОВАНИЯ |
| Authors: | Бортникова, В.О. Невлюдов, И.Ш. |
| Keywords: | МЭМС технологические процессы акселерометр MEMS accelerometer technological processes |
| Issue Date: | 2016 |
| Publisher: | ДонНТУ |
| Citation: | «ТАК»: телекомунікації, автоматика, комп’ютерно-інтегровані технології: зб. доповідей Всеукр. наук.-практ. конф. молодих вчених, 29-30 листопада 2016 р. / ДВНЗ «ДонНТУ; відп. ред. Г.В. Ступак. – Покровськ: ДВНЗ «ДонНТУ», 2016. – 288 с. |
| Abstract: | The process of manufacturing the MEMS accelerometer as a design object is analyzed. The features input and output parameters of the technological process of manufacturing the MEMS accelerometer are identified. |
| URI: | http://ea.donntu.edu.ua/jspui/handle/123456789/28389 |
| ISBN: | 978-966-377-208-0 |
| Appears in Collections: | Матеріали ІІ науково-практичного форума 2016 р. |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 212-214.pdf | Технологический процесс изготовления микромеханического акселерометра как объект проектирования | 841,94 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.