Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
https://ea.donntu.edu.ua/jspui/handle/123456789/25088
Повний запис метаданих
Поле DC | Значення | Мова |
---|---|---|
dc.contributor.author | Надточий, В.А. | - |
dc.contributor.author | Уколов, А.И. | - |
dc.contributor.author | Щербина, И.Л. | - |
dc.contributor.author | Иванов, Р.И. | - |
dc.date.accessioned | 2014-03-13T05:04:49Z | - |
dc.date.available | 2014-03-13T05:04:49Z | - |
dc.date.issued | 2013 | - |
dc.identifier.citation | Надточий В.А. Уколов А.И. Щербина И.Л. Иванов Р.И. Исследование распределения дефектов в полупроводниковых пластинах интегральных схем при воздействии механических напряжений.// Збірник науковіх праць фізико-математичного факультету СДПУ. [За матеріалами Всеукраїнської науково-практичної конференції "Актуальні питання науки і освіти"]. - Слов'янськ: СДПУ, 2013 - № 23 | en_US |
dc.identifier.isbn | 978-966-1554-82-4 | - |
dc.identifier.uri | http://ea.donntu.edu.ua/handle/123456789/25088 | - |
dc.description | Dependences over of tensions are in-process brought in area of action of the concentrated force at the three-supporting bend of semiconductor lamina of Ge . At the chosen sizes and terms of deformation exceeding of tensions in a standard near-by a concentrator is substantial on a depth to 25мкм and from it along a surface in the distance < 1.2 мм. Got the method of structural analysis distribution of defects in a приповерхностном layer qualitatively comports with the results of the злектрических measuring of time of life of unbasic carriers of charge. The used probe method of measuring can be recommended for control the degree of imperfectness on the small fragments of the integrated circuits. | en_US |
dc.description.abstract | В работе приведены зависимости напряжений в области действия сосредоточенной силы при трехопорном изгибе тонкой полупроводниковой пластины Ge . При выбранных размерах и условиях деформирования превышение напряжений в образце вблизи концентратора существенно на глубине до 25мкм и от него вдоль поверхности на расстоянии < 1.2 мм. Полученное методом структурного анализа распределение дефектов в приповерхностном слое качественно согласуется с результатами злектрических измерений времени жизни неосновных носителей заряда. Использованный зондовый метод измерения может быть рекомендован для контроля степени дефектности на малых фрагментах интегральных схем. | en_US |
dc.language.iso | other | en_US |
dc.publisher | Збірник науковіх праць фізико-математичного факультету СДПУ. [За матеріалами Всеукраїнської науково-практичної конференції "Актуальні питання науки і освіти"]. - Слов'янськ: СДПУ, 2013 - № 23 – 255 с. С 77 – 85. | en_US |
dc.subject | напряжение | en_US |
dc.subject | tension | en_US |
dc.subject | дефекты | en_US |
dc.subject | defects | en_US |
dc.subject | дислокации | en_US |
dc.subject | distributions | en_US |
dc.subject | время жизни | en_US |
dc.subject | time of life | en_US |
dc.title | Исследование распределения дефектов в полупроводниковых пластинах интегральных схем при воздействии механических напряжений. | en_US |
dc.type | Article | en_US |
Розташовується у зібраннях: | Публікації кафедри "Загальнонаукові дисципліни" |
Файли цього матеріалу:
Файл | Опис | Розмір | Формат | |
---|---|---|---|---|
Исследование распределения дефектов в полупроводниковых пластинах.pdf | 4,91 MB | Adobe PDF | Переглянути/Відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.