Розробка електронного пристрою моніторингу мікроклімату під час виробництва мікроелектроніки

Abstract

Виконано аналіз обов'язкових вимог, а також заходів і засобів, які забезпечують спеціальні умови для розробки та виробництва мікроелектронних пристроїв, що визначено в нормативно-технічної документації ISO 14644. Проаналізовано існуючі технології керування параметрами мікроклімату у виробничих приміщеннях. Визначено та проаналізовано заходи, що необхідно виконати для забезпечення надійності системи автоматичного керування під час виробництва мікроелектронних пристроїв. Електронний пристрій керування необхідний для забезпечення точності та стійкості функціонування динамічної системи, яка має жорсткі обмеження на параметри стану технологічного процесу. Для реалізація запропонованого підходу розроблено технологію безперервного автоматичного сталого керування кліматичною системою за допомогою апарату нечіткого регулювання. Під час проведення досліджень розроблено математичну модель автоматичного пристрої керування параметрами мікроклімату виробничих приміщень, яка має інтуїтивну структуру. Ця структура може бути доступна для зовнішніх додатків, а також вона здатна здійснювати інтелектуальний аналіз та оцінку результатів автоматичного контролю та керування.