Please use this identifier to cite or link to this item: https://ea.donntu.edu.ua/jspui/handle/123456789/26097
Title: Физико-химический анализ процесса гидрирования тетрахлорида кремния
Authors: Гончаров, Р.В.
Keywords: гидрирование
тетрахлорид кремния
конверсия тетрахлорида кремния
Issue Date: 2013
Publisher: ДонНТУ
Citation: Металлургия XXI столетия глазами молодых / Материалы Всеукраинской научно-практической конференции студентов. - Донецк: ДонНТУ, 2013. - 217 с.
Abstract: Целесообразным является разработка методов, обеспечивающих конверсию тетрахлорида кремния в трихлорсилан. В технологии конверсии применяют методы каталитического и высокотемпературного гидрирования SiCl4. а также плазмохимические методы.
Description: It is appropriate to develop methods to ensure the conversion of silicon tetrachloride to trichlorosilane. In the conversion technology used methods and high catalytic hydrogenation of SiCl4. and plasma-chemical methods.
URI: http://ea.donntu.edu.ua/handle/123456789/26097
Appears in Collections:Металлургия XXI столетия глазами молодых, 2013

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
гончаров.pdf84,7 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.