Donetsk National Technical University
Please use this identifier to cite or link to this item:
https://ea.donntu.edu.ua/jspui/handle/123456789/10835| Title: | Влияние режимов ионной бомбардировки подложки на качество осажденных пленок из нитрида титана |
| Other Titles: | Influence of ion bombardment of the substrate on the quality of the besieged titanium nitride films |
| Authors: | Бруяка, О.О. Харлова, К. С. |
| Keywords: | Ионая бомбардировка bombarding ions шероховатость roughness массоперенос mass transfer дифрактограмма difraktogramma |
| Issue Date: | 2011 |
| Publisher: | Praha. Publishing House “Educa-tion and Science” |
| Citation: | Бруяка О.О.,Харлова К.С.Влияние режимов ионной бомбардировки подложки на качество осажденных пленок из нитрида титана//Materialу VII mezinárodni vêdecko – praktiká conference "Aplikovane vĕdecké novinky. – 2011" .Dil 7. Techniké vĕdy. Výstavba a ar-chitektura. Matematika. Fyzika.Výstavba a architektura.С. 41 – 43. |
| Abstract: | Исследовано влияние режимов ионной бомбардировки подложки на качество осажденных пленок из нитрида титана. Определено рациональное время бомбардировки. |
| Description: | Influence of the regimes of an ion bombarding substrate on quality besieged titanium nitride films is investigated. The rational time of the bombarding is defined. |
| URI: | http://ea.donntu.edu.ua/handle/123456789/10835 |
| ISBN: | 978-966-8736-05-6 |
| Appears in Collections: | Публікації кафедри "Загальнонаукові дисципліни" |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| ВЛИЯНИЕ РЕЖИМОВ ИОННОЙ БОМБАРДИРОВКИ ПОДЛОЖКИ НА КАЧЕСТВО ОСАЖДЕННЫХ ПЛЕНОК ИЗ НИТРИДА ТИТАНА.pdf | 216,98 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.