Донецький національний технічний університет
Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
https://ea.donntu.edu.ua/jspui/handle/123456789/28389| Назва: | ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА КАК ОБЪЕКТ ПРОЕКТИРОВАНИЯ |
| Автори: | Бортникова, В.О. Невлюдов, И.Ш. |
| Ключові слова: | МЭМС технологические процессы акселерометр MEMS accelerometer technological processes |
| Дата публікації: | 2016 |
| Видавництво: | ДонНТУ |
| Бібліографічний опис: | «ТАК»: телекомунікації, автоматика, комп’ютерно-інтегровані технології: зб. доповідей Всеукр. наук.-практ. конф. молодих вчених, 29-30 листопада 2016 р. / ДВНЗ «ДонНТУ; відп. ред. Г.В. Ступак. – Покровськ: ДВНЗ «ДонНТУ», 2016. – 288 с. |
| Короткий огляд (реферат): | The process of manufacturing the MEMS accelerometer as a design object is analyzed. The features input and output parameters of the technological process of manufacturing the MEMS accelerometer are identified. |
| URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): | http://ea.donntu.edu.ua/jspui/handle/123456789/28389 |
| ISBN: | 978-966-377-208-0 |
| Розташовується у зібраннях: | Матеріали ІІ науково-практичного форума 2016 р. |
Файли цього матеріалу:
| Файл | Опис | Розмір | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 212-214.pdf | Технологический процесс изготовления микромеханического акселерометра как объект проектирования | 841,94 kB | Adobe PDF | Переглянути/Відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.