Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал: https://ea.donntu.edu.ua/jspui/handle/123456789/10835
Повний запис метаданих
Поле DCЗначенняМова
dc.contributor.authorБруяка, О.О.-
dc.contributor.authorХарлова, К. С.-
dc.date.accessioned2012-04-06T11:11:21Z-
dc.date.available2012-04-06T11:11:21Z-
dc.date.issued2011-
dc.identifier.citationБруяка О.О.,Харлова К.С.Влияние режимов ионной бомбардировки подложки на качество осажденных пленок из нитрида титана//Materialу VII mezinárodni vêdecko – praktiká conference "Aplikovane vĕdecké novinky. – 2011" .Dil 7. Techniké vĕdy. Výstavba a ar-chitektura. Matematika. Fyzika.Výstavba a architektura.С. 41 – 43.en_US
dc.identifier.isbn978-966-8736-05-6-
dc.identifier.urihttp://ea.donntu.edu.ua/handle/123456789/10835-
dc.descriptionInfluence of the regimes of an ion bombarding substrate on quality besieged titanium nitride films is investigated. The rational time of the bombarding is defined.en_US
dc.description.abstractИсследовано влияние режимов ионной бомбардировки подложки на качество осажденных пленок из нитрида титана. Определено рациональное время бомбардировки.en_US
dc.language.isootheren_US
dc.publisherPraha. Publishing House “Educa-tion and Science”en_US
dc.subjectИоная бомбардировкаen_US
dc.subjectbombarding ionsen_US
dc.subjectшероховатостьen_US
dc.subjectroughnessen_US
dc.subjectмассопереносen_US
dc.subjectmass transferen_US
dc.subjectдифрактограммаen_US
dc.subjectdifraktogrammaen_US
dc.titleВлияние режимов ионной бомбардировки подложки на качество осажденных пленок из нитрида титанаen_US
dc.title.alternativeInfluence of ion bombardment of the substrate on the quality of the besieged titanium nitride filmsen_US
dc.typeArticleen_US
Розташовується у зібраннях:Публікації кафедри "Загальнонаукові дисципліни"



Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.