Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
https://ea.donntu.edu.ua/jspui/handle/123456789/10835
Повний запис метаданих
Поле DC | Значення | Мова |
---|---|---|
dc.contributor.author | Бруяка, О.О. | - |
dc.contributor.author | Харлова, К. С. | - |
dc.date.accessioned | 2012-04-06T11:11:21Z | - |
dc.date.available | 2012-04-06T11:11:21Z | - |
dc.date.issued | 2011 | - |
dc.identifier.citation | Бруяка О.О.,Харлова К.С.Влияние режимов ионной бомбардировки подложки на качество осажденных пленок из нитрида титана//Materialу VII mezinárodni vêdecko – praktiká conference "Aplikovane vĕdecké novinky. – 2011" .Dil 7. Techniké vĕdy. Výstavba a ar-chitektura. Matematika. Fyzika.Výstavba a architektura.С. 41 – 43. | en_US |
dc.identifier.isbn | 978-966-8736-05-6 | - |
dc.identifier.uri | http://ea.donntu.edu.ua/handle/123456789/10835 | - |
dc.description | Influence of the regimes of an ion bombarding substrate on quality besieged titanium nitride films is investigated. The rational time of the bombarding is defined. | en_US |
dc.description.abstract | Исследовано влияние режимов ионной бомбардировки подложки на качество осажденных пленок из нитрида титана. Определено рациональное время бомбардировки. | en_US |
dc.language.iso | other | en_US |
dc.publisher | Praha. Publishing House “Educa-tion and Science” | en_US |
dc.subject | Ионая бомбардировка | en_US |
dc.subject | bombarding ions | en_US |
dc.subject | шероховатость | en_US |
dc.subject | roughness | en_US |
dc.subject | массоперенос | en_US |
dc.subject | mass transfer | en_US |
dc.subject | дифрактограмма | en_US |
dc.subject | difraktogramma | en_US |
dc.title | Влияние режимов ионной бомбардировки подложки на качество осажденных пленок из нитрида титана | en_US |
dc.title.alternative | Influence of ion bombardment of the substrate on the quality of the besieged titanium nitride films | en_US |
dc.type | Article | en_US |
Розташовується у зібраннях: | Публікації кафедри "Загальнонаукові дисципліни" |
Файли цього матеріалу:
Файл | Опис | Розмір | Формат | |
---|---|---|---|---|
ВЛИЯНИЕ РЕЖИМОВ ИОННОЙ БОМБАРДИРОВКИ ПОДЛОЖКИ НА КАЧЕСТВО ОСАЖДЕННЫХ ПЛЕНОК ИЗ НИТРИДА ТИТАНА.pdf | 216,98 kB | Adobe PDF | Переглянути/Відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.