Please use this identifier to cite or link to this item: http://ea.donntu.edu.ua:8080/jspui/handle/123456789/10835
Title: Влияние режимов ионной бомбардировки подложки на качество осажденных пленок из нитрида титана
Other Titles: Influence of ion bombardment of the substrate on the quality of the besieged titanium nitride films
Authors: Бруяка, О.О.
Харлова, К. С.
Keywords: Ионая бомбардировка
bombarding ions
шероховатость
roughness
массоперенос
mass transfer
дифрактограмма
difraktogramma
Issue Date: 2011
Publisher: Praha. Publishing House “Educa-tion and Science”
Citation: Бруяка О.О.,Харлова К.С.Влияние режимов ионной бомбардировки подложки на качество осажденных пленок из нитрида титана//Materialу VII mezinárodni vêdecko – praktiká conference "Aplikovane vĕdecké novinky. – 2011" .Dil 7. Techniké vĕdy. Výstavba a ar-chitektura. Matematika. Fyzika.Výstavba a architektura.С. 41 – 43.
Abstract: Исследовано влияние режимов ионной бомбардировки подложки на качество осажденных пленок из нитрида титана. Определено рациональное время бомбардировки.
Description: Influence of the regimes of an ion bombarding substrate on quality besieged titanium nitride films is investigated. The rational time of the bombarding is defined.
URI: http://ea.donntu.edu.ua/handle/123456789/10835
ISBN: 978-966-8736-05-6
Appears in Collections:Публікації кафедри "Загальнонаукові дисципліни"



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.